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仪器简介: SFT9500的X射线发生系统是X射线聚光系统(聚光导管)与X射线源相结合,产生束斑直径为Φ0.1mm以下高强度的X射线束。所以SFT9500可以对以往由于X射线照射强度不足而导致无法得到理想精度的导线架、接插头、柔性线路板等微小零件及薄膜进行测量。同时,SFT9500采用了高计数率、高分辨率的半导体检测器(*液氮),在测量镀膜厚度的同时,对于欧盟的RoHS&ELV法规所限制的有害元素的分析测量也十分有效。 技术参数: SFT9500产品规格 可测量元素:原子序数13(Al)~83(Bi) X射线聚光:聚光方式 X射线源:管电压:50kV 管电流:1mA 检测器:Vortex?检测器(*液氮) 分析范围:Φ0.1mm、Φ5mm 样品观察:彩色CCD摄像头(附变焦功能) 滤波器:3种模式自动切换 样品室:样品平台 240(W)×330(D)mm 移动量 X:220mm Y:150mm Z:150mm 载重量 10kg 重量:123kg(不含电脑) X-ray Station:台式电脑 19"LCD (OS; MS-Windows XP?) 膜厚测量软件:薄膜FP法(较多五层,各层十种元素) 检量线法(单层、双层、合金膜厚成分) 定量分析功能:块体FP法 统计处理功能:MS-EXCEL? 报告制作:MS-WORD? 安装环境:温度:10℃~35℃(±)5℃ 湿度:35%~80% 使用电源:接地三头插座 AC100、1** 主要特点: 1. 薄膜?多层膜测量 通过采用新型的毛细管(X射线聚光系统)和X射线源,把与以往机型FT9500同等强度的X射线聚集在30 μmΦ的较微小范围。因此,不会改变测量精度即可测量几十微米等级的微小范围。 同时,也可对几十纳米等级的Au/Pd/Ni/Cu多镀层的各层膜厚进行**测量。 2. 异物分析 通过高能量微小光束和高计数率检测器的组合,可进行微小异物的定性分析。利用CCD摄像头选定样品的异物部分并照射X射线,通过与正常部分的能谱差进行异物的定性分析(Al~U)。 3. 数据编辑功能 配备了Microsoft? Excel和Microsoft? Word。在Microsoft? Excel上面配备了统计处理软件,可以进行测量数据、平均值、较大/较小值、C.V.值、Cpk等的统计处理。 另外,通过Microsoft? Word可以简单的制作包含了样品画图的测量报告书。 4. 高强度照射 通过高强度照射在微小部分也可以鲜明的观察、聚焦位置。 方案优势 聚光式X射线荧光膜厚仪 SFT9500,采用了两项XRF良好的技术 1聚光式X射线系统 2高计数率型不需液态氮检测器SDD检测器可以实现微小区域的高灵敏度分析