供应日立FT9400膜厚分析仪

仪器简介：
在高功率X射线管和检测器上配备有比例计数管和半导体检测器。可对应薄膜/合金膜以及较微小部件的测量需求，同时支持针对异物进行定性分析和材料的成分分析。


技术参数：
可测量元素：原子序数22(Ti)～83(Bi) 

X射线源：小型空气冷却型高功率X射线管球(Mo靶) 
                   管电压： 50kV 管电流： 1.5mA Be 窗 

滤波器：一次滤波器：Mo 

照射方式：上方垂直照射方式
检测器：比例计数管+半导体检测(*液氮) 

准直器：圆形：Φ0.015mm Φ0.05mm Φ0.1mm Φ0.2mm
安全性能：样品室门自锁功能、样品防冲撞功能、自动诊断功能
样品图像对焦方式：激光自动对焦
样品观察：彩色CCD摄像头 倍率光学器 卤素灯照明 

样品平台大小及承重：    FT9400:240mm(W) ×170mm(D) 10kg 
                                               FT9450:420mm(W) ×330mm(D) 5kg 
                                               FT9455:700mm(W) ×600mm(D) 3kg
重量：FT9400/SFT9450:125kg (不含电脑) 
             FT9455:130kg(不含电脑) 

修正功能：底材修正、已知样品修正、人工输入修正 

测量报告书制作：配备MS-EXCEL? MS-WORD?(使用宏支持自动制作测量报告书) 
                                  测量能谱与样品图像保存功能


主要特点：
1. 搭载有高功率X射线管及双检测器(半导体检测器+比例计数管) 
    可对应组合复杂的应用程序，特别是可识别Ni和Cu之类能量较为接近的元素。 
    能够对Ni/Cu和Au/Ni/Cu在不使用二次滤波器的情况下进行测量 
    对于含Br的电路板，可以不受Br的干扰对Au的镀层厚度进行**的测量 
    可测量0.01μm以下的**薄的Au镀层厚度 
2. 搭载块体FP发软件和薄膜FP法软件 
    对应含铅的合金镀膜和多层镀膜等，适用于广泛的运用领域 
3. 适用**微小面积的测量 
    标准配备的15μmΦ的准直器，可对**微小面积进行测量。 
4. 搭载了可3段切换的变焦距光学系统 
5. 搭载**样品平台，更可测量大型线路板(SFT9455) 
6. 自动对焦功能 
     配备激光自动对焦功能，能够准确对焦，提高测量效率。 
7. 搭载测试报告自动生成软件